D07-60是熱式質(zhì)量流量計，質(zhì)量流量控制器可以應(yīng)用到對各種氣體進行測量和控制，除測量外還可以精密控制氣體的質(zhì)量流量，質(zhì)量流量計（MFM）可以精密測量氣體的質(zhì)量流量。D07-60產(chǎn)品是華丞電子研發(fā)大流量的模擬產(chǎn)品，最大量程達2000SLM。
D07-60GM氣體質(zhì)量流量計技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品型號 | D07-60GM |
產(chǎn)品類型 | 大流量型 |
流量量程 | 300slm,500slm,750slm,1000slm,1500slm,2000slm |
產(chǎn)品精度 | ±2％F.S. |
重復精度 | ±0.2% FS |
線性 | ±1％F.S. |
響應(yīng)時間 | ≤10sec |
工作溫度范圍 | (5~45)°C |
耐壓 | 3MPa |
密封材料 | 氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon |
輸入輸出信號 | (1~5)VDC,(4~20)mA |
電源 | 24V |
閥類型 | 無閥 |
溫度系數(shù) | - 無 - |
零點飄移指標 | - 無 - |
電氣連接 | D sub 15 pins Male |
工作壓差范圍 | ＜0.2 MPa |
漏率 | 1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He） |
標準接頭形式 | 雙卡套1/2"(滿量程≤1000slm),雙卡套Φ10(滿量程=300slm) |
表面化學成分 | - 無 - |
表面粗糙度 | - 無 - |
抗電磁干擾 | - 無 - |
重量 | 5Kg |
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