氣路系統(tǒng)簡介

     氣路系統(tǒng)產(chǎn)品應(yīng)用于光伏及半導(dǎo)體領(lǐng)域，在設(shè)備工藝管路中實現(xiàn)對流體的相關(guān)控制（開關(guān)、減壓、過濾、分流、流量控制等），七星流量計的氣路系統(tǒng)可根據(jù)客戶需求提供多種解決方案。

                        氣路系統(tǒng)

應(yīng)用場景

一、半導(dǎo)體領(lǐng)域

     在集成電路裝備研發(fā)和制造中，氣路系統(tǒng)肩負(fù)著工藝氣體向腔室的輸送、流量設(shè)定、控制特定工藝過程的重要任務(wù)。例如調(diào)壓前段供氣的壓力，對供氣進行過濾器，并且氣路中可能會直接接觸特氣等介質(zhì)，因此對潔凈度有較高要求。

      產(chǎn)品選用半導(dǎo)體高純材料，對于顆粒度有著嚴(yán)格要求。適用于絕大多數(shù)半導(dǎo)體制程設(shè)備。

二、光伏領(lǐng)域

     在光伏裝備研發(fā)和制造中，氣路系統(tǒng)肩負(fù)著向長晶腔室輸送保壓氣體，保持爐內(nèi)壓力穩(wěn)定的重要任務(wù)。

產(chǎn)品優(yōu)勢

1、IGS 設(shè)計能力：七星流量計為國內(nèi)多家半導(dǎo)體客戶定制開發(fā)IGS產(chǎn)品解決方案，在IGS的Block-器件拼搭設(shè)計及選型等方面積累諸多經(jīng)驗。

2、全套零部件的解決方案：根據(jù)客戶需求進行器件的選，并保證交付的連續(xù)供應(yīng)。

3、高純焊接能力：根據(jù)SEMI標(biāo)準(zhǔn)及ASTM標(biāo)準(zhǔn)搭建，可滿足高純凈半導(dǎo)體級焊接需求。

                     大理石平臺及三坐標(biāo)顯微鏡 

                     焊縫檢測結(jié)果